Предложена методика проведения ускоренных испытаний хранения эпитаксиальных кремниевых структур. Проведены испытания с целью определения эквивалентного срока хранения, предложен метод постэпитаксиальной химической обработки, а также проверен уровень чистоты используемой тары. Определено, что используемая тара соответствует заданному уровню чистоты